热销！！EBARA 荏原 干式真空泵EST25N

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EST 型 干式真空泵能够处理反应副产物并排出大流量气体 兼容高温控制 抽速大 大流量排气 采用耐腐蚀材料标准 耐腐蚀性增强选项 能够在重负荷下进行处理 在不同频率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL

EST 型号使用螺杆式转子，并配备了高温功能，可将泵中的气体保持在高温，使其非常适合 CVD 等形成反应副产物的应用。 标准使用耐腐蚀材料，实现高抽速和高流量泵送，减少停机时间并有助于提高工艺效率。